HORIBA堀場 濃度監(jiān)測儀  pH計  流量計  CS-131C-22-W2P

CS-131是半導(dǎo)體制造清洗過程中使用的SC-1溶液的高精度化學(xué)濃度監(jiān)測儀，實現(xiàn)了高速響應(yīng)和緊湊性。持續(xù)監(jiān)測用于去除顆粒和有機物的SC-1溶液（NH 3 /H 2 O 2 /H 2 O）的每種成分的濃度。通過使用監(jiān)視器輸出進行反饋控制，可以將SC-1溶液的濃度維持在可接受的范圍內(nèi)并消除不必要的化學(xué)交換。我們還有一個集成冷卻器型號，支持較寬的樣品溫度范圍

HORIBA堀場 濃度監(jiān)測儀  pH計  流量計  CS-131C-22-W2P

支持 300mm 工藝中的濃度管理，測量周期約為 2 秒 (*)

實現(xiàn)了約2秒的短測量周期(*)的高速響應(yīng)。我們支持多槽和單槽清潔設(shè)備的詳細(xì)濃度控制。（*不包括化學(xué)品更換時間或冷卻時間）

緊湊的設(shè)計有助于節(jié)省清潔設(shè)備的空間。

與傳統(tǒng)型號相比，緊湊的設(shè)計可減少約 2/3 (*) 的占地面積，有助于節(jié)省清潔設(shè)備的空間?？奢p松集成到清潔設(shè)備中。

(*與本公司產(chǎn)品CS-220系列比較)

通過減少清潔過程中的批次缺陷來提高產(chǎn)量

通過使用監(jiān)視器輸出控制 SC-1 溶液的補充，實現(xiàn)了高度可重復(fù)的清潔。這減少了清潔過程中的批次缺陷并有助于提高產(chǎn)量。

全自動測量，輕松管理

。用戶只需引入SC-1解決方案。測量是全自動的，因此測量開始后無需控制。此外，參考光譜測量使用空氣，因此不需要水作為公用設(shè)施。

通過消除氣泡措施，可以測量高溫樣品。氣泡

在脫氣罐中分離，測量過程中使用電磁閥最大限度地減少氣泡進入流通池。此外，如果集成了冷卻器，高溫樣本可以直接傳遞到監(jiān)測儀。

采用24V DC，安全性高

采用低壓24V DC供電，進一步提高了防觸電安全性。此外，內(nèi)置漏水傳感器可實現(xiàn)緊急響應(yīng)，例如在漏水時切斷 SC-1 溶液的供應(yīng)